應用於真空係（xì）統的橡膠（jiāo）主要有兩大類：硫化橡膠和合成（chéng）橡膠（包括丁基、氯基、丁晴橡（xiàng）膠），此（cǐ）外還有矽酮橡（xiàng）膠和氟橡膠。除了正確的密封結構設計，合理選擇密封材料也是實現真空橡（xiàng）膠密封的關鍵。幾（jǐ）個主要因素會影響真空密封（fēng），包括橡膠的耐熱性、耐壓縮變形性、漏氣（qì）率、氣透性、出氣率以及（jí）升華（失重）。

耐熱性：在真空係（xì）統中，橡（xiàng）膠密封件必須具備一定耐熱性，以確保烘烤去氣的順利（lì）進行。烘烤溫（wēn）度（dù）在（zài）120℃以下（xià）和10^-5Pa的（de）真空度下，可采用丁基或丁晴橡膠；若要求烘烤溫度更高且在超高真空環境中工作，則需采用氟橡膠。

耐壓縮變（biàn）形性：在真空係統（tǒng）中（zhōng），大多數真空（kōng）密（mì）封件（jiàn）都在壓縮狀態下工作。為了確保密封件的可靠性和壽命，橡膠密封件應具有較小的壓縮（suō）變形值（最（zuì）好小（xiǎo）於35%），並具有（yǒu）緩慢的壓縮應力鬆弛程（chéng）度（即壓縮應（yīng）力鬆弛係數較大）。

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